FFU过滤器的优缺点分(fēn)析
FFU过滤器的典型就用(yòng)方式是,新(xīn)风有(yǒu)新(xīn)风空调机处理(lǐ)至所需状态点后送入,在静压箱内与回风混合后经FFU的风机加压后经HEPA或ULPA送入室内,再经架空地板或侧墙回至干盘管,在此经冷(热)处理(lǐ)后经由回压机送回至静压箱完成循环。这样的系统最為(wèi)常用(yòng)于有(yǒu)超静要求的洁净室,如大型集成電(diàn)路晶圆的制造、尖端显示器如TFT、PDP等的制造、硬盘的制造等。这样的FFU系统有(yǒu)诸多(duō)优点,简单的讲有(yǒu)六点:
1、系统非常灵活,可(kě)随时调整
因洁净室的壁板都以天花(huā)板格子的模数(如1200*600)来布置,并且由于其特殊的节点构造,洁净室的壁板可(kě)以随时调整位置,以此改变房间的布局。同时如果房间的洁净度需要调整,可(kě)以通过增减FFU数量的方法来实现。这对于通常集中送风的净化系统来说几乎是不可(kě)能(néng)的。
2、 出风均匀稳定
FFU因自带风机,出风均匀而稳定。避免了集中送风系统各送风口风量平衡的问题。对于垂直单向流洁净室尤為(wèi)有(yǒu)利。
3、节能(néng)显著
FFU系统风管很(hěn)少,除新(xīn)风以风管送达外,大量的回风以小(xiǎo)循环的方式在运行,因此大大减少了风管的阻力消耗。同时由于FFU的面风速一般為(wèi)0.35~0.45m/s,高效过滤器阻力小(xiǎo),FFU的无壳风机功率很(hěn)小(xiǎo),新(xīn)型的FFU采用(yòng)了高效率電(diàn)动机,同时对风机叶轮形状也进行了改进,其综合效率以大為(wèi)提高。据筆(bǐ)者估算,FFU系统一般可(kě)比集中送风的净化系统节能(néng)30%以上,使FFU系统在二、三年内就可(kě)通过节省電(diàn)费把增加的初投资部分(fēn)(与集中送风的净化系统相比)省回来。
4、 节省空间
因省去了巨大的送回风管,故可(kě)节省安装空间。对于层高紧张的改建项目非常合适。带来的另一个好处因风管很(hěn)少空间相对宽敞而使工期缩短。
5、 风口、灯具、烟感、喷淋、静電(diàn)中和器等的合理(lǐ)布局
这些洁净室常用(yòng)装置都在上有(yǒu)各自的安装天花(huā)板格子位置,既合理(lǐ)又(yòu)美观。而在集中送风的净化系统里这些装置的布局经常冲突,吊顶显得拥挤不堪。
6、负压密封
FFU送风系统的静压箱為(wèi)负压,因此即使风口安装存在泄漏,也是从洁净室向静压箱泄漏,不会形成对洁净室的污染。
FFU系统也有(yǒu)缺点:风机数量大,故障机率大。且因FFU布置在吊顶上,维修有(yǒu)一定困难。而集中风系统因设备较為(wèi)集中,数量也少,易于维护。但这也不完全是缺点:FFU系统正是因為(wèi)数量众多(duō)而分(fēn)散,通常少量的FFU出现故障,并不能(néng)对洁净度造成严重的破坏。甚至可(kě)以在对洁净度几乎没有(yǒu)影响的情况下发现并修复故障单元。而集中送风系统只要一台AHU出现故障,就会造成大面积的洁净室停止运行,对生产的影响很(hěn)大。在几乎所有(yǒu)的项目中,冷冻机、空压机、纯水设备、水泵、真空泵抢救无效都可(kě)以做到备份,尽量减少设备故障对生活的影响。唯独空调箱的备份几乎没用(yòng)。FFU系统则在某种程度上达到了这个目的。
优缺点 过滤器